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系統集成
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ESD閂鎖測試系統
ESD閂鎖測試系統是基于日本日新電子（HANWA ELECTRONIC IND.CO.,LTD）產的分析儀器，主要用于模擬人體模式（HBM）、機器模式（MM）、器件充電模式（CDM）等不同靜電放電模式，并執行閂鎖測試（Latch-up）。該系統具備廣泛的測試參數范圍，包括HBM脈沖電壓±10V至±8000V，MM脈沖電壓±10V至±4000V，以及CDM充電電壓0V至±4000V [1-2]。主要使用:HED-S5000R/ HED-N5000 和HED-C5000R
| CDM電壓 | ±4000V | 閂鎖電流脈沖 | ±5mA～±1000mA |
| 測試管腳數 | 256PIN-1024PIN | 靜放電測試 | 支持人體模式（HBM）、機器模式（MM）和器件充電模式（CDM）可模擬不同靜電放電場景對樣品的敏感度進行測試。 |
| 閂鎖測試 | 提供電流脈沖范圍±5mA至±1000mA，電壓脈沖范圍0V至±100V，用于檢測半導體器件的閂鎖效應。 | ||
該系統能夠模擬人體模式(HBM)、機器模式(MM)以及器件充電模式(CDM)對樣品進行靜電敏感度的測試，并具備Latch up的測試功能
